在現(xiàn)代半導(dǎo)體制造行業(yè)中,晶圓吸附真空設(shè)備是不可或缺的關(guān)鍵設(shè)備之一,其穩(wěn)定性和效率直接影響著整個(gè)生產(chǎn)線的運(yùn)行效率與產(chǎn)品質(zhì)量。
司倍克水環(huán)真空機(jī)組的工作原理:
1.司倍克水環(huán)真空機(jī)組采用水作為工作介質(zhì),通過(guò)機(jī)械作用形成連續(xù)的真空環(huán)境。其核心部件包括葉輪、水環(huán)、進(jìn)氣口、排氣口及水箱等。當(dāng)機(jī)組啟動(dòng)時(shí),葉輪在泵體內(nèi)高速旋轉(zhuǎn),帶動(dòng)周?chē)乃纬尚D(zhuǎn)的水環(huán)。
2.由于葉輪的葉片與水環(huán)之間形成密閉的腔室,隨著葉輪的旋轉(zhuǎn),這些腔室逐漸擴(kuò)大并吸入氣體,隨后氣體被壓縮并排出至大氣中,從而實(shí)現(xiàn)真空的抽取。整個(gè)過(guò)程中,水環(huán)起到了密封、冷卻和潤(rùn)滑的作用,確保了機(jī)組的長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。
在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,晶圓吸附是確保晶圓在加工、傳輸和檢測(cè)等各個(gè)環(huán)節(jié)中穩(wěn)定不動(dòng)的重要步驟。
深圳市務(wù)明系統(tǒng)集成有限公司的司倍克水環(huán)真空機(jī)組憑借其卓越的性能,在晶圓吸附系統(tǒng)中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。如司倍克水環(huán)真空泵可以做到精準(zhǔn)控制真空度、快速響應(yīng)、適應(yīng)性強(qiáng)、廢水節(jié)能減排等。